фото: finobzor.ru

Специалисты «Росэлектроники» разработали технологию изготовления тонкопленочных СВЧ-резонаторов, позволяющую в несколько раз сократить вес и размеры микроэлектронных устройств.

Метод, разработанный в Омском НИИ приборостроения (ОНИИП), позволяет выпускать СВЧ-резонаторы с брэгговским отражателем на основе пленок оксида цинка и нитрида алюминия с добротностью 300–350 и 500–650 единиц соответственно в едином технологическом цикле на частоту 2–5 ГГц, а в перспективе до 20 ГГц.

Опытные образцы устройств по ряду электрических и технологических характеристик превосходят российские и зарубежные аналоги. Например, их размеры составляют всего 1,5х1,5х0,6 мм.

«Эта технология позволяет освоить выпуск принципиально новой для российского рынка продукции в сфере микроэлектроники», – отметил генеральный директор «Росэлектроники» Игорь Козлов.

Открытие было сделано в ходе исследований влияния конструктивных и технологических решений на параметры тонкопленочных СВЧ-резонаторов, применяемых в устройствах частотной селекции и стабилизации частоты радиоэлектронной аппаратуры. В результате был разработан особый способ напыления пленок алюминия с малой шероховатостью поверхности.

Брэгговский отражатель (или брэгговское зеркало) – оптический элемент, представляющий собой структуру из чередующейся последовательности слоев двух различных оптических материалов. Наиболее часто используется конструкция в виде четвертьволнового зеркала, где толщина каждого оптического слоя соответствует четверти длины волны, для которой разработано зеркало. Последнее условие работает для нормальных углов падения (90°). Для больших углов падения необходимы более толстые слои.

ОНИИП проводит исследования в области радиосвязи, ориентированные на решение широкого круга прикладных задач – от создания радиоэлектронных компонентов и устройств радиосвязи до сложнейших автоматизированных комплексов и систем связи и управления.